EUV-Lithographie steht mal wieder kurz bevor

Vor 14 Stunden  Heise online

EUV-Belichtung soll Chipstrukturen von 7 nm und kleiner ermöglichen, Stepper wie der NXE:3300B sind gerade in der Erprobungsphase. (Bild: ASML) Die Belichtung von Chips mit Licht aus dem extremen UV-Bereich soll noch feinere ... mehr

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